微集成工藝平臺
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平臺概況空天院微集成工藝平臺主要包括1條低溫共燒陶瓷（LTCC）生產(chǎn)線和1條微組裝生產(chǎn)線，經(jīng)過8年的不斷發(fā)展和積累，微集成工藝平臺已經(jīng)擁有1200平米的凈化生產(chǎn)廠房，具有穩(wěn)定而先進(jìn)的工藝技術(shù)，具備完善的生產(chǎn)組織流程和質(zhì)量控制體系，擁有先進(jìn)齊備的生產(chǎn)設(shè)備共121臺（套），主要設(shè)備均為國外進(jìn)口設(shè)備，工藝精度及可靠性優(yōu)良，生產(chǎn)效率高，可全面保障微波微系統(tǒng)產(chǎn)品的科研和生產(chǎn)需求。
LTCC工藝生產(chǎn)線提供陶瓷三維電路基板互連技術(shù)，包括打孔、印刷、疊壓、燒結(jié)、切割和檢驗等。配有全自動上下料的打孔機(jī)和絲網(wǎng)印刷機(jī)、疊片機(jī)、等靜壓機(jī)、燒結(jié)爐、紅外和紫外激光加工設(shè)備、齒輪劃片機(jī)、激光調(diào)阻機(jī)以及膜厚測試儀、飛針檢測儀和萬能材料試驗機(jī)等檢測設(shè)備。微組裝工藝生產(chǎn)線提供高集成組件裝連技術(shù)，包括一體化釬焊、芯片共晶/粘接、引線鍵合、倒裝鍵合、氣密性封裝和檢驗等。配有真空共晶爐、全自動點膠貼片機(jī)、氣相清洗機(jī)、等離子清洗機(jī)、全自動引線鍵合機(jī)、手動鍵合機(jī)、半自動鍵合機(jī)、平行封焊機(jī)、激光封焊機(jī)、氣密性檢漏系統(tǒng)、以及X光機(jī)、拉力剪切力等檢測設(shè)備。
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激光封焊機(jī) 中電48所激光封焊機(jī)，型號為P02500-4/UM， 可用于在氣氛保護(hù)環(huán)境中， 通過高強(qiáng)度激光與材料的相互作用使材料局部熔化實現(xiàn)高氣密性焊接 2020年通過驗收，并投入生產(chǎn) |
平行縫焊機(jī) 美國MIYACHI UNITEK公司平行縫焊機(jī)，型號為SM8500， 可利用電阻熱實現(xiàn)封裝尺寸從5mm至200mm的圓形、方形和矩形樣品的氣密性封裝 2010年通過驗收，并投入生產(chǎn) |
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真空共晶爐 美國奧泰公司真空共晶爐； 型號為SST/5100； 可利用在真空（或氣氛保護(hù)）環(huán)境下完成微波組件真空釬焊工藝； 溫度范圍為100至450℃； 2010年通過驗收，并投入生產(chǎn)； |
紫外激光切割機(jī) 德國樂普科紫外激光切割機(jī)； 型號為CM2115； 可用于激光切割加工； 2023年通過驗收，并投入生產(chǎn)； |
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后印絲網(wǎng)印刷機(jī) 日本MT公司后印絲網(wǎng)印刷機(jī)，型號為320TVC，可利用絲網(wǎng) 印刷技術(shù)實現(xiàn)圖形加工 2016年通過驗收，并投入生產(chǎn) |
平臺成員
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實驗室成員： 賀穎，副研究員，平臺總體運行管理。 Email：heying@aircas.ac.cn； 電話：010-56535355； 辦公地點：懷柔區(qū)雁棲東二路5號院2號樓北二產(chǎn)線；
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實驗室成員： 董雅茹，研究實習(xí)員，平臺管理及維護(hù)。 Email：dongyr@aircas.ac.cn； 電話：010-56535355； 辦公地點：懷柔區(qū)雁棲東二路5號院2號樓北二產(chǎn)線；
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實驗室成員： 王松，助理研究員，合同細(xì)節(jié)/技術(shù)溝通。 Email：wangsong@aircas.ac.cn； 電話：010-56535355； 辦公地點：懷柔區(qū)雁棲東二路5號院2號樓北二產(chǎn)線
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實驗室成員： 趙燕，助理研究員，合同細(xì)節(jié)/技術(shù)溝通。 Email：zhaoyanhust@126.com； 電話：010-56535355； 辦公地點：懷柔區(qū)雁棲東二路5號院2號樓北一產(chǎn)線；
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